| Código # | 823-170-1010 |
|---|---|
| Método de entrada numérico | auto |
| Intercambio de lente e indentador | Torreta automática |
| Tiempo de estancia | 1 ~ 60 ajustable |
| Control de carga | Automático |
| Código # | 823-170-2005 y otros |
|---|---|
| sistema cargado | Automático |
| Estadio X-Y motorizado | Mini-motor paso a paso con tamaño L:180*W:140mm |
| Injerto de etapa X-Y | 50x50m m |
| Paso mínimo | 0.625um |
| Torreta | Automático |
|---|---|
| Código # | 822 a 340AF |
| entrada de datos | Automático |
| máx. Altura de la muestra | 90 mm |
| Cuello del instrumento | 110 mm |